第一节 溅射靶材产品定义及基本属性一、产品定义、性能1、产品定义磁控溅射镀膜是一种新型的物理气相镀膜方式，较之较早点的蒸发镀膜方式，其很多方面的优势相当明显。作为一项已经发展的较为成...